MEMS实验加工测试平台包括百/千/万级具有超过500平米的加工测试。平台致力于微纳尺度器件和材料的加工及测试，拥有齐全的6 inch半自动MEMS工艺线，具备全套加工、制作能力，主要为客户研发提供专业的整体解决方案。

该平台主要面向科研院所和公司的研发需求，服务已涉及多个领域：生物电极领域-柔性记录/刺激电极、生物芯片领域-微流控、医美微针领域-微孔/微针/微柱、传感器领域、光电器件领域、陶瓷封装集成领域、电化学表面修饰等。

平台设备资源丰富，包括：紫外光刻、电子束光刻、热压/紫外纳米压印、FIB、无掩膜激光直写、薄膜沉积、干法刻蚀、深硅刻蚀、超临界干燥、台阶仪/膜厚仪、减薄机、键合机、晶圆切割机、激光焊接、材料万能试验机、绑定等。