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服务
SEARVICES
我们的服务
01微纳米产品代工服务

MEMS实验加工测试平台包括百/千/万级具有超过500平米的加工测试。平台致力于微纳尺度器件和材料的加工及测试,拥有齐全的6 inch半自动MEMS工艺线,具备全套加工、制作能力,主要为客户研发提供专业的整体解决方案。

该平台主要面向科研院所和公司的研发需求,服务已涉及多个领域:生物电极领域-柔性记录/刺激电极、生物芯片领域-微流控、医美微针领域-微孔/微针/微柱、传感器领域、光电器件领域、陶瓷封装集成领域、电化学表面修饰等。

平台设备资源丰富,包括:紫外光刻、电子束光刻、热压/紫外纳米压印、FIB、无掩膜激光直写、薄膜沉积、干法刻蚀、深硅刻蚀、超临界干燥、台阶仪/膜厚仪、减薄机、键合机、晶圆切割机、激光焊接、材料万能试验机、绑定等。




500平百级/千级洁净间,6英寸MEMS研发线,多领域服务能力


02主要设备资源

03案例
生物电极系列-柔性记录/刺激电极


材质:PI、Au、Pt特征线宽:1.5um

交流阻抗:2K-8K

生物芯片系列-微流控
1同一流道平面,可实现变深度结构
2 可实现玻璃+PDMS键合、硅+玻璃键合、玻璃+玻璃键合,良好 的气密性确保毫无漏液情况发
医美微针系列-微孔/微针/微柱


可在硅材料、光敏树脂、石英玻璃、金属等材料上直接加工成凸起和凹陷的微结构单元。

传感器系列


太赫兹检测用传感器,特征尺寸2+微米

光电系列


各种光栅,光电器件

刻蚀硅阵列间距600nm,一致性10nm(图3)

陶瓷封装&集成



HTCC\LTCC、过孔金属浆料、生物兼容、陶瓷内部走线、钎焊封装壳体,适

用于小尺寸芯片的倒装焊集成及其封装

电化学-微纳米表面修饰